SMG26系列-微型光栅 SMG26系列-微型光栅特点： 体积小，结构紧凑；适用于超高真空使用；良好的耐高温性，最高可达100°C；精度高，绝对精度±3μm（20°C）；采用玻璃栅尺，膨胀系数小，读数稳定性良好；分辨率高，...
